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镍钽颗粒(NiTa)

镍钽颗粒(NiTa)
  • 镍钽颗粒(NiTa)
镍钽颗粒(NiTa)基本信息
分子式Ni50Ta50wt%
纯度99.9%
CAS号无独立CAS号
摩尔质量随配比变化
密度随成分变化
熔点无单一熔点
沸点无固定沸点
溶解性(水)常温不溶于水;耐稀酸;可被 HF、浓硝酸 + HF 混合酸腐蚀;空气中常温形成钝化氧化膜

镍钽颗粒(NiTa)产品概况

镍钽 NiTa 合金颗粒,一般采用真空感应熔炼 + 气雾化 / 破碎制粒,球形 / 不规则颗粒,粒度可定制,多用于真空热蒸发、电子束蒸发,也作为制备 NiTa 溅射靶的原料;也有客户直接用颗粒做 EB 蒸镀薄膜。 NiTa 薄膜兼具 Ta 的高阻挡特性与 Ni 的粘附性,和 NiV、Ta、TaN 同属半导体互连阻挡层材料。合金配比是核心:Ta 含量决定阻挡能力、电阻率、热稳定性。

镍钽颗粒(NiTa)产品应用

薄膜应用:
1. 半导体芯片(核心):铜互连结构扩散阻挡层,阻挡 Cu 向 Si / 低 k 介质扩散,替代部分 NiV、Ta/TaN 体系,兼顾附着力与阻挡稳定性
2. 真空蒸镀 / 电子束蒸发:科研、器件试样制备,直接用 NiTa 颗粒 EB 蒸镀沉积合金薄膜
3. 薄膜电阻、低温器件:高稳定性金属电阻薄膜、微电子欧姆接触层
4. 防腐、耐磨涂层:耐蚀合金涂层,腐蚀工况防护膜层
5. 靶材坯料原料:熔炼制备 NiTa 合金溅射靶的母料

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