English
元素索引

点击可查看包含对应元素的相关产品信息

科泰新材料可提供“元索周期表”近乎全元素(除放射性元素外)的任意组合材料定制，
部分产品未及时更新，特殊定制需求请咨询客服。

English
元素索引
关闭索引
首页
关于科泰
企业简介
发展历程
客户展示
生产设备
荣誉资质
产品中心
溅射靶材
蒸发镀膜材料
化合物半导体材料
稀土材料
特种合金
坩埚定制
应用领域
5G领域
光学领域
半导体芯片
电子器件
航空航天
平面显示器
太阳能电池
工具改性
OLED领域
存储领域
技术支持
分析检测
技术服务
技术咨询
新闻资讯
公司新闻
行业资讯
公司活动
靶材科普
联系我们
联系方式
在线留言
在线地图

产品中心

PRODUCTS

当前位置：首页 >> 产品中心 >> 溅射靶材 >> 合金靶材

选择产品类别：

合金靶材 取消选择
全部产品
溅射靶材
蒸发镀膜材料
化合物半导体材料
稀土材料
特种合金
坩埚定制
产品类别
溅射靶材
蒸发镀膜材料
化合物半导体材料
稀土材料
特种合金
坩埚定制

铝钪合金靶材(AlSc)

铝钪合金靶材(AlSc)
  • 铝钪合金靶材(AlSc)
铝钪合金靶材(AlSc)基本信息
分子式AlSc
纯度99.9%
CAS号
摩尔质量
密度
熔点
沸点
溶解性（水）

铝钪合金靶材(AlSc)产品概况

低钪（<10at%）含量的铝钪合金靶材：AlSc5at%铝钪合金靶材，AlSc9at%的铝钪合金靶材。

高钪（≥10at%）含量的铝钪合金靶材‌：科泰已经开发出 AlSc17.5at%铝钪靶材, AlSc22.5at%铝钪靶材，AlSc30at%用于制备氮化铝掺钪（ScAlN）压电薄膜，满足5G射频滤波器、MEMS传感器等高频器件的性能需求，靶材纯度≥99.99%，氧含量控制在≤1000 ppm，直径>300mm的大直径铝钪合金靶材。

铝钪合金靶材(AlSc)产品应用

1. ‌铁电存储器件‌
氮化铝钪薄膜凭借其高温稳定性和可逆极化特性，成为下一代非易失性存储器的核心材料。其铁电性能在含氢气氛和600℃高温下仍能保持稳定，解决了传统铁电材料（如PZT）在高温工艺中易失效的问题，适用于高密度数据存储和低功耗存储芯片。
2. ‌压电MEMS器件‌
‌高频声学传感器与滤波器‌：AlScN薄膜的压电常数（d33）显著高于纯氮化铝，机电耦合系数（kt²）可达6.8%以上，支持更高频率（如5G射频滤波器）和更灵敏的声波器件（如超声波换能器）。
‌能量采集器‌：通过机械振动能量转化为电能，应用于物联网设备的自供电系统。
3. ‌半导体与先进封装‌
‌外延衬底技术‌：通过优化AlN/ AlScN异质外延结构，降低薄膜应力积聚，减少晶圆翘曲，提升半导体外延片良率1。
‌芯片散热‌：作为高导热材料，用于5G芯片封装中的散热层，降低局部热点温度15%-20%，替代传统有机材料以延长器件寿命。
4. ‌航空航天与军工领域‌
AlScN薄膜的高耐热性和抗氧化性，可应用于航空发动机涡轮叶片表面涂层，增强部件抗高温氧化能力，延长使用寿命。
‌技术发展趋势‌：随着掺钪浓度调控和沉积工艺的优化（如宙讯微电子的磁控溅射技术），AlScN薄膜在微型化、高频化和高可靠性器件中的渗透率将持续提升。

产品推荐

产品需求

PRODUCT DEMAND

产品名称：

产品纯度：

产品尺寸：

您的昵称：

您的电话：

您的邮箱：

工作单位：

其他说明：



返回顶部
ENGLISH
关于科泰
企业简介
发展历程
客户展示
生产设备
荣誉资质
产品中心
溅射靶材
蒸发镀膜材料
化合物半导体材料
稀土材料
特种合金
应用领域
5G领域
光学领域
半导体芯片
电子器件
航空航天
技术支持
分析检测
技术服务
技术咨询
新闻资讯
公司新闻
行业资讯
公司活动
靶材科普
联系我们
联系方式
在线留言
在线地图
江西科泰B站主页（产品视频展示） 阿里巴巴店铺直达 爱采购店铺直达

  • 微信扫一扫实时报价

  • 微信公众号

  • 关注微信视频号

  • 抖音扫码，加我好友

江西科泰新材料有限公司 @版权所有

工厂电话 : 0795-5381117

E-mail : sales@mat-kt.com

咨询热线：18979517112

工厂地址 : 江西省高安市工业园通城大道

赣ICP13002482-1

技术支持：Cnnaw纳网技术