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产品中心
PRODUCTS
二硅化锆靶材(ZrSi2)
| 二硅化锆靶材(ZrSi2)基本信息 | |
| 分子式 | ZrSi2 |
| 纯度 | 99.9% |
| CAS号 | 12039-90-6 |
| 摩尔质量 | 147.40 g/mol |
| 密度 | 4.88 g/cm³（25℃） |
| 熔点 | 1790ºC |
| 沸点 | 无固定沸点，高温下硅组分易挥发 |
| 溶解性（水） | 不溶于水。它不溶于酸、碱和王水。 |
二硅化锆靶材(ZrSi2)产品概况
二硅化锆（ZrSi₂）是锆硅体系稳定的金属间化合物，斜方晶系，钢灰色晶体，兼具陶瓷的耐高温、耐磨腐蚀特性与金属导电性、导热性、低电阻率；靶材一般采用粉末冶金、热压 / 热等静压工艺制备，可绑定铜背靶，加工成圆靶、方靶、台阶靶等，用于磁控溅射沉积硅化锆薄膜，溅射过程成分稳定性好、抗热震能力强，适合高功率长时间溅射工况。
| 二硅化锆靶材(ZrSi2)产品应用 |
薄膜应用
1. 半导体微电子：硅基器件欧姆接触层、栅阻挡层、扩散阻挡薄膜，与硅基底相容性好，作为硅化物接触薄膜；先进封装、功率器件薄膜
2. 高温抗氧化防护涂层：航空航天、热端部件、耐蚀耐磨涂层，高温氧化后可生成自修复型硅酸锆保护层；核燃料包壳耐事故抗氧化涂层研究方向
3. 硬质功能涂层：刀具、模具耐磨涂层，提升表面硬度与抗侵蚀性能
4. 光伏、显示、光存储：功能导电薄膜、光学调节薄膜、装饰硬质涂层
5. 高温陶瓷与复合材料：超高温陶瓷增强相、高温坩埚、热障相关薄膜体系
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