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氧化铟锌(IZO)靶材(In2O3-ZnO)

氧化铟锌(IZO)靶材(In2O3-ZnO)
  • 氧化铟锌(IZO)靶材(In2O3-ZnO)
氧化铟锌(IZO)靶材(In2O3-ZnO)基本信息
分子式In2O3(90)ZnO(10)wt%（简称IZO)
纯度99.99%
CAS号无独立 CAS 号
摩尔质量无固定摩尔质量，随掺杂比例变化
密度约6.8 g/cm³
熔点无单一熔点，基体 In₂O₃熔点约 1910℃；ZnO 熔点 1975℃；烧结温度一般 1400~1600℃
沸点无统一沸点；高温下氧化物分解，无常压沸点
溶解性（水）不溶于水；可被浓强酸（盐酸、硝酸）缓慢腐蚀；耐弱酸弱碱；整块烧结靶化学稳定性优于粉体

氧化铟锌(IZO)靶材(In2O3-ZnO)产品概况

IZO 氧化锌掺杂氧化铟靶材，是以高纯氧化铟粉体为基体，掺入高纯氧化锌粉体，经湿法球磨混粉、喷雾造粒、等静压成型、高温固相烧结、机加工、铟焊绑定无氧铜背板制成的陶瓷溅射靶材。

  1. 掺杂机理：Zn²⁺进入氧化铟晶格，调控载流子浓度；溅射沉积得到非晶 IZO 薄膜，薄膜表面平整、膜应力低、成膜缺陷少。

  2. 靶材形态：圆形、矩形、管状旋转靶均可定制，可绑定无氧铜背板；直流 / 射频磁控溅射均可。

  3. 粉体原料：湿法砂磨亚微米粉，D50 一般 0.2~0.5μm，保障掺杂均匀性与烧结致密度。

  4. 核心优势对比 ITO：低温成膜、不需要高温退火、薄膜不易结晶、柔性基板适配性更好，大尺寸镀膜时结瘤更少。


氧化铟锌(IZO)靶材(In2O3-ZnO)产品应用

薄膜应用
1. 柔性 OLED、折叠屏、Micro-OLED 像素电极（最核心应用），低温工艺适配 PET 柔性基板，非晶膜层弯折不易开裂。
2. 触控屏、大尺寸触摸屏透明导电电极，薄膜均匀性好，缺陷少。
3. 薄膜太阳能电池，CIGS 等光伏器件前透明导电电极。
4. 红外光电器件，可见光 - 短波红外高透光，红外传感器透明电机。
5. 光学镀膜、电磁屏蔽膜、部分半导体器件透明电极。

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