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氧化钇稳定氧化锆(YSZ)靶材ZrO2-Y2O3

氧化钇稳定氧化锆(YSZ)靶材ZrO2-Y2O3
  • 氧化钇稳定氧化锆(YSZ)靶材ZrO2-Y2O3
氧化钇稳定氧化锆(YSZ)靶材ZrO2-Y2O3基本信息
分子式ZrO2-Y2O3
纯度99.99%
CAS号114168-16-0
摩尔质量349.03 g/mol
密度5.9~6.1 g/cm³
熔点约 2700 ℃
沸点约 4300 ℃
溶解性(水)不溶于水、稀酸、稀碱;可溶于浓氢氟酸、热浓硫酸,化学惰性强,常温耐大多数腐蚀介质

氧化钇稳定氧化锆(YSZ)靶材ZrO2-Y2O3产品概况

氧化钇稳定氧化锆(YSZ)靶材是将氧化钇 Y₂O₃作为稳定剂掺入氧化锆 ZrO₂晶格,抑制纯氧化锆在升降温过程中发生晶型转变、体积膨胀开裂,通过粉末烧结 / 热压制成的致密陶瓷溅射靶材。

  • 8YSZ:立方相,高温氧离子导电性优异,固体氧化物电解池 / 燃料电池首选;

  • 3YSZ:四方相,力学韧性更好,多用于耐磨、防护涂层; 靶材可绑定铜背靶,适配直流 / 射频磁控溅射,薄膜具备高介电、耐高温、氧离子传导、低热导特性。


氧化钇稳定氧化锆(YSZ)靶材ZrO2-Y2O3产品应用

薄膜应用:
1. 固体氧化物燃料电池 SOFC / 固体氧化物电解池 SOEC:溅射制备 YSZ 电解质薄膜(8YSZ 为主),氧离子传导层,新能源电化学器件核心膜层。
2. 热障涂层 TBC:航空发动机、燃气轮机叶片薄膜,隔热、抗氧化,提升高温部件耐受温度。
3. 氧传感器薄膜:汽车尾气氧传感器、高温工业氧探头敏感膜层,高温氧离子传导元件。
4. 半导体与微电子:高 k 介质薄膜、钝化保护层,耐高温绝缘层。
5. 光学涂层:耐磨、抗损伤光学保护膜,红外窗口保护层。
6. 科研领域:薄膜材料、界面、电化学、高温材料基础研究。

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