铝酸铜靶材(CuAlO₂） Product overview

铝酸铜（CuAlO₂）靶材是P 型透明导电氧化物陶瓷靶材，采用高纯 CuO、Al₂O₃粉体为原料，经过固相合成、球磨、等静压成型、高温气氛烧结、精密机加工制成。

• 晶体结构：三方晶系，层状结构，典型 P 型透明半导体，是少数天然 P 型 TCO 材料。

• 形态：圆盘靶、矩形靶；脆性陶瓷，溅射时可选绑定铜 / 钼背板改善散热。

• 核心质控点：单相纯度（避免杂相 CuAl₂O₄、CuO、Al₂O₃）、致密度、晶粒均匀性、氧含量；杂相会直接造成薄膜电学 / 光学性能漂移、颗粒缺陷增多。

• 特点：可见光透光、P 型导电、热稳定性好；陶瓷靶溅射功率不能过高，防止开裂。

薄膜应用：
1. 透明电子器件（最核心）：制备 P 型透明导电 CuAlO₂薄膜，用于透明二极管、透明晶体管、紫外光电探测器；传统 TCO 大多是 N 型，CuAlO₂稀缺 P 型特性，是透明 PN 结关键材料。
2. 光电器件、薄膜太阳能电池：薄膜光伏的空穴传输层、窗口层，紫外光探测薄膜。
3. 半导体与微电子科研：新型氧化物半导体、二维异质结、氧化物薄膜器件研发。
4. 气敏传感器：高温气体传感薄膜，利用其表面氧空位变化检测气体。
5. 催化薄膜：光催化薄膜电极材料。