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氧化铟掺氧化锡掺氧化锌靶材（In2O3-SnO2-ZnO）

氧化铟掺氧化锡掺氧化锌靶材（In2O3-SnO2-ZnO）
  • 氧化铟掺氧化锡掺氧化锌靶材（In2O3-SnO2-ZnO）
氧化铟掺氧化锡掺氧化锌靶材（In2O3-SnO2-ZnO）基本信息
分子式In2O3(41.5)SnO2(13)ZnO (4)at%（简称IZTO）
纯度99.99%
CAS号无专属 CAS 号
摩尔质量无固定摩尔质量
密度6.6～7.0 g/cm³
熔点无单一熔点，高温下逐步分解 / 软化
沸点常压下高温先分解升华，无明确沸点；高温真空环境氧化物会逐步气化
溶解性（水）不溶于水、乙醇；可溶于浓盐酸、氢卤酸、王水等强酸；常温下化学稳定

氧化铟掺氧化锡掺氧化锌靶材（In2O3-SnO2-ZnO）产品概况

IZTO（铟锌锡氧化物）磁控溅射陶瓷靶材，以高纯 In₂O₃、SnO₂、ZnO 粉末为原料，经配料、球磨、喷雾造粒、干压 / 等静压成型、高温固相烧结、精密机加工，可钎焊无氧铜背板。

  • 相比传统 ITO：薄膜非晶态、膜层更平整、应力更低、低温成膜、耐氢等离子体、柔性弯折性能更好；

  • 相比 IZO：引入 Sn⁴⁺掺杂，载流子浓度提升，电阻率更低，兼顾透光率；

  • 相比 IGZO：不含 Ga，成本、工艺窗口有差异；

  • 靶材形态：平面圆靶、矩形马赛克拼靶，可绑定铜背板；脆性陶瓷，加工、搬运易崩边开裂。


氧化铟掺氧化锡掺氧化锌靶材（In2O3-SnO2-ZnO）产品应用

薄膜应用：
1. 柔性 OLED、折叠屏、卷曲显示器件：低温溅射可镀 PI/PET 塑料柔性基板，非晶薄膜，弯折不易产生裂纹；
2. 电容式触摸屏、触控传感器：高可见光透过率 + 低方阻，膜面均匀、缺陷少；
3. 薄膜太阳能电池、钙钛矿电池：透明导电电极；
4. 光电传感器、光电探测器、红外窗口透明导电层；
5. 防静电、电磁屏蔽、电加热透明光学窗口；
6. 半导体 TFT 薄膜晶体管（源漏电极，替代 ITO）。

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