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产品中心
PRODUCTS
氧化锡靶材（SnOx）
| 氧化锡靶材（SnOx）基本信息 | |
| 分子式 | SnOx，1＜x＜2，两相混合物，无固定单一分子式 |
| 纯度 | 99.9%、99.99% |
| CAS号 | 无独立 CAS |
| 摩尔质量 | 随 x 加权变化 |
| 密度 | 6.5‑6.9 g/cm³ |
| 熔点 | SnO 高温易歧化分解为 Sn+SnO₂ |
| 沸点 | SnO₂高温升华 |
| 溶解性（水） | SnOₓ整体水不溶，可被热浓酸碱缓慢腐蚀 |
氧化锡靶材（SnOx）产品概况
SnOₓ氧化锡靶材采用粉末烧结工艺制备，为多相复合陶瓷靶，内部同时存在 Sn²⁺、Sn⁴⁺，氧含量偏离理想化学计量比；可做成圆靶、方靶，可焊接铜背靶，靶材致密度一般≥95% 理论密度，晶粒尺寸可控。 靶材电阻率高，不能直流溅射，需要射频（RF）磁控溅射；镀膜时可通过腔体内氧气分压进一步调节沉积薄膜的 x 值，调控薄膜导电、透光性能。 SnOₓ靶是无铟 TCO 体系重要靶材，替代部分 ITO 应用，降低铟资源依赖。
| 氧化锡靶材（SnOx）产品应用 |
薄膜应用：
1. 透明导电薄膜：制备无铟 SnOₓ透明导电膜，用于柔性光电器件、触控、显示基底，调节氧空位获得 n 型导电，可见光高透过率。
2. 钙钛矿太阳能电池：电子传输层（ETL）薄膜，SnOₓ薄膜作为电子收集层，提升电池稳定性与效率。
3. 气体传感器：氧化锡基气敏薄膜，对甲醛、乙醇、可燃气体敏感，SnOₓ缺陷态对气敏响应起到关键作用。
4. 光学涂层：抗反射膜、红外反射涂层，折射率约 1.9‑2.0，用于玻璃光学镀膜。
5. 锂电池负极薄膜：SnOₓ薄膜负极材料，利用锡氧化物的合金‑脱合金储锂机制。
6. 电致变色器件，防雾、低辐射功能涂层。
产品需求
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