氧化铝靶材（Al2O3）Product overview

氧化铝靶材（Al₂O₃）是以高纯铝粉为原料，经氧化、成型及高温烧结工艺制备的陶瓷材料。

难溶于水的白色固体，无臭、无味、质极硬，易吸潮而不潮解（灼烧过的不吸湿）。

氧化铝是典型的两性氧化物（刚玉是α形属于六方最密堆积，是惰性化合物，微溶于酸碱耐腐蚀 ），能溶于无机酸和碱性溶液中，几乎不溶于水及非极性有机溶剂；

半导体器件、光学器件及航空航天高温部件的表面功能化需求，是精密电子、光学工程与极端环境防护领域的核心镀膜材料。
​◉ ASML光刻机镜头
​193nm增透膜系​
基底：合成石英｜沉积温度：150℃
性能验证：
- 单面反射损失＜0.08%
- 波前畸变＜λ/40 @193nm
​工艺方案​：离子束辅助沉积（IAD）优化致密度
​◉ 车规级IGBT模块
​铜引线键合区钝化层​
耐湿HTRB测试：150℃/85%RH/1000h无失效
​创新结构​：Al₂O₃/SiNₓ叠层（界面陷阱密度＜10¹⁰ cm⁻²）
​量产案例​：英飞凌HybridPACK™良率提升6.5%​​
​◉ 航空发动机热障
​涡轮叶片粘结层​
TGO生长抑制：1300℃/100h氧化增重＜0.5mg/cm²​
​协同机制​：Al₂O₃纳米层阻断氧扩散（MCrAlY涂层寿命↑50%）
​◉ 柔性OLED封装
​水氧阻隔膜​
WVTR＜5×10⁻⁷ g/m²/day​（85℃/85%RH）
弯折寿命＞20万次​@R=2mm