氧化铝靶材（Al2O3）Product overview

氧化铝（Al₂O₃，氧化铝 / 刚玉）陶瓷溅射靶，以高纯氧化铝粉体经成型、高温烧结制成，白色致密陶瓷；高硬度、高绝缘、宽禁带、耐温耐蚀、化学稳定性优异；属于绝缘氧化物靶，溅射必须采用射频（RF）磁控溅射，易起弧，生产上对致密度、晶粒均匀性要求高，致密度越高，镀膜越稳定、少针孔、少打火。可做成圆靶、方靶、管状靶，绑定铜背靶使用。

薄膜应用：
1. 光伏行业：晶硅电池背面钝化层（Al₂O₃负电钝化，提升开路电压、转换效率）、钙钛矿电池阻挡 / 绝缘保护层
2. 半导体：器件钝化层、栅介质层、扩散阻挡层、薄膜电容介电层、晶圆封装绝缘膜
3. 光学镀膜：镜头增透膜、红外窗口保护膜、光学干涉膜、耐磨抗腐蚀光学涂层
4. 显示 / LED：TFT、OLED、Micro-LED 内部透明绝缘介质层
5. 防护涂层：耐磨、耐蚀、耐高温防护膜，传感器、航天、精密零件保护层