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氧化钒靶材 （VO₂）

氧化钒靶材 （VO₂）
  • 氧化钒靶材 （VO₂）
氧化钒靶材 （VO₂）基本信息
分子式VO₂
纯度99.9%
CAS号12036-21-4
摩尔质量82.94 g/mol
密度4.57 g/cm³
熔点1970 ℃
沸点高温下分解，无固定沸点
溶解性（水）不溶于水；可溶于浓非氧化性酸、浓强碱

氧化钒靶材 （VO₂）产品概况

氧化钒靶材是以高纯钒氧化物粉末为原料，经成型、高温致密烧结制备的陶瓷溅射靶。氧化钒体系最大特点是金属 - 绝缘体相变（MIT 效应）：VO₂在 68℃附近发生可逆相变，电阻率、红外光学透过率突变；VOₓ薄膜具备高电阻温度系数（TCR），是红外热敏核心材料。

氧化钒靶材 （VO₂）产品应用

氧化钒是一种金属-绝缘体转变(Metal-Insulator transition,MIT)的相变材料,当温度到达68℃附近时,会发生由室温单斜绝缘相(M1)转变为高温金红石金属相(R)的一级相变。氧化钒的相变伴随着电学和光学等物理性质的突然变化,由于具有优良的相变特性,使其广泛应用在开关调制、光电器件、智能窗口、传感器、驱动器、红外辐射、红外热像仪等领域。氧化钒薄膜还是常见的半导体热敏薄膜。

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