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铈钆靶材（Ce-Gd）

铈钆靶材（Ce-Gd）
  • 铈钆靶材（Ce-Gd）
铈钆靶材（Ce-Gd）基本信息
分子式Ce-Gd
纯度99.9%
CAS号无独立 CAS 号
摩尔质量无固定摩尔质量，随配比变化
密度随配比变化
熔点无单一熔点
沸点无固定沸点
溶解性（水）不溶于水；可溶于稀盐酸、稀硫酸等稀无机酸；在潮湿空气中极易氧化，表面快速生成氧化膜；遇强氧化剂会加速腐蚀

铈钆靶材（Ce-Gd）产品概况

铈钆（Ce-Gd）合金靶是以高纯金属铈、高纯金属钆为原料，真空感应熔炼或粉末冶金成型，经锻造、精密机加工制备而成的银灰色稀土合金靶材。

  • 晶体：稀土固溶合金，双相结构（随成分变化）；化学活性高，极易氧化，靶材储存、加工、溅射都需要隔绝水汽氧气。

  • 形态：圆盘靶、矩形靶；金属靶，一般铟焊绑定铜背板提升散热；表面需做钝化保护。

  • 质控关键点：成分均匀性、氧 / 碳杂质含量、致密度、晶粒均匀度；稀土合金极易吸氧，氧超标会造成溅射颗粒、薄膜组分漂移。

  • 特点：溅射工艺需要高真空；薄膜容易氧化，若要得到金属 Ce-Gd 薄膜，溅射腔必须低氧分压。


铈钆靶材（Ce-Gd）产品应用

薄膜应用：
1. 半导体与先进封装薄膜：制备稀土改性阻挡层、界面修饰薄膜，Chiplet、扇出型封装，调控界面扩散特性。
2. OLED 显示器件：阴极界面修饰层，提升电子注入效率，延长器件寿命（科研 / 小批量为主）。
3. 磁学、自旋电子薄膜：稀土基磁性薄膜、磁光薄膜、磁制冷材料薄膜研发。
4. 红外光学与传感器薄膜：稀土光学涂层、高温气敏薄膜。
5. 固体氧化物电池（科研）：金属前驱体薄膜，后续氧化转化制备 GDC 电解质薄膜。
6. 基础科研：稀土合金薄膜、稀土氧化、表面物理等基础材料研究。

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