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部分产品未及时更新，特殊定制需求请咨询客服。
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产品中心
PRODUCTS
钽硼氧靶材(TaBO)
| 钽硼氧靶材(TaBO)基本信息 | |
| 分子式 | TaBO |
| 纯度 | 99.5% |
| CAS号 | 无固定CAS号 |
| 摩尔质量 | 无固定摩尔质量 |
| 密度 | 7.79～7.84 g/cm³ |
| 熔点 | 无单一熔点 |
| 沸点 | 无固定沸点 |
| 溶解性（水） | 不溶于水；常温耐弱酸、中性溶液；可被浓氢氟酸、熔融强碱缓慢腐蚀 |
钽硼氧靶材(TaBO)产品概况
钽硼氧（Ta-B-O）溅射靶材，由高纯氧化钽、氧化硼粉体按目标配比混合，经热压烧结 / SPS 放电等离子烧结制备的多元复合陶瓷靶材，主要用于射频磁控溅射制备 Ta-B-O 功能薄膜。
微观结构：多相纳米复合结构，包含 TaB₂晶粒、Ta₂O₅与非晶 Ta-B-O 界面相；B:Ta:O 原子比例可在区间内定制调整；
制备流程：粉体配料→球磨混料→烧结→精密磨削机加工，可绑定铜背板；支持圆靶、矩形靶，尺寸按需定制；
材料特点：高介电常数、低漏电流、优异抗辐照、高温热稳定性好；溅射成膜均匀，颗粒少；
供货形态：带铜背板溅射靶、无背板陶瓷毛坯、高纯 Ta-B-O 粉体。
| 钽硼氧靶材(TaBO)产品应用 |
薄膜应用
1. 先进半导体：GAA 晶体管高 k 介质层、RRAM 阻变存储器阻变层，低漏电流，适配先进制程器件研发。
2. 聚变 / 核能领域：聚变装置偏滤器防护薄膜、阻氚渗透阻隔层，耐高温、抗等离子体辐照。
3. 深空航天：航天器抗辐射封装薄膜、核热推进部件热障涂层，耐受高能电子辐照与热循环。
4. 量子器件：超导量子比特微波腔介质层、拓扑量子芯片界面介质薄膜（科研方向）。
5. 科研镀膜：实验室 PVD 磁控溅射，Ta-B-O 多元氧化物薄膜、介电薄膜机理研究。
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