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铝铌钛靶材(AINbTi)

铝铌钛靶材(AINbTi)
  • 铝铌钛靶材(AINbTi)
铝铌钛靶材(AINbTi)基本信息
分子式AINbTi
纯度99.99%
CAS号无独立 CAS 号
摩尔质量无固定摩尔质量，随原子配比变化
密度约5.9~6.1 g/cm³
熔点无单一熔点，合金熔化区间1450~1650℃
沸点无统一沸点；单质 Al 沸点 2467℃，Nb 4744℃，Ti 3287℃，高温下 Al 优先挥发
溶解性（水）不溶于水；常温耐弱酸，可被浓氢氟酸、浓硝酸、混合强酸腐蚀；空气中高温易氧化

铝铌钛靶材(AINbTi)产品概况

AlNbTi 铝铌钛靶材是以高纯 Al、Nb、Ti 金属原料，按客户指定原子配比，真空电弧熔炼 / 真空感应熔炼制备合金锭，再经热等静压 / 锻造、机加工、绑定无氧铜背板制成平面溅射靶材。

  1. 材料特点：典型中熵合金，形成 BCC 体心立方固溶结构；晶格畸变效应强，薄膜具备高硬度、耐磨、耐高温、抗腐蚀；溅射沉积后，通入氮气反应溅射，生成 AlNbTiN 多元氮化物涂层，性能大幅提升。

  2. 靶材形态：圆形、矩形平面靶，支持绑定无氧铜背板。

  3. 粉体原料（粉末冶金路线可选）：惰性气氛气雾化合金粉，D50 一般 10–45μm。

  4. 工艺要点：熔炼全程高真空，防止 Al 氧化；大尺寸靶需要控制成分偏析。


铝铌钛靶材(AINbTi)产品应用

薄膜应用：
1. 硬质防护涂层（刀具 / 模具涂层，最主流）：反应溅射制备 AlNbTiN 氮化物薄膜，高硬度、高温抗氧化，高速切削刀具、冲压模具耐磨涂层，替代传统 TiAlN。
2. 航空航天高温防护薄膜：高温抗氧化涂层，飞行器构件热障、抗腐蚀薄膜，耐 600–1000℃高温氧化。
3. 能源、核电耐蚀涂层：核燃料包壳防护膜，抗高温水腐蚀、抗辐照涂层（AlNbTi 体系耐事故燃料涂层热门方向）。
4. 科研新材料开发：中熵 / 高熵合金薄膜基础研究、阻变器件、扩散阻挡层、生物医用耐蚀薄膜。
5. 半导体扩散阻挡层：部分新型器件，作为金属扩散阻挡层，阻挡 Cu 扩散，耐高温。

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