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氮化锆靶材（ZrN）

氮化锆靶材（ZrN）
  • 氮化锆靶材（ZrN）
氮化锆靶材（ZrN）基本信息
分子式ZrN
纯度99.5%
CAS号25658-42-8
摩尔质量105.23 g/mol
密度7.09 g/cm³
熔点2980 ℃
沸点无明确沸点，高温下优先分解
溶解性（水）不溶于水；微溶于稀盐酸、稀硫酸；可溶于热浓硫酸、浓氢氟酸、热浓碱；空气中高于 700℃易氧化生成 ZrO₂

氮化锆靶材（ZrN）产品概况

氮化锆靶材为黄褐色 / 浅金色块体，面心立方氯化钠型晶体结构；高硬度、高熔点、低电阻率、耐磨耐腐蚀。 采用粉末冶金热压 / SPS 放电等离子烧结制备，可绑定铜背靶适配磁控溅射。

氮化锆靶材（ZrN）产品应用

薄膜应用：
1. 装饰镀膜（经典应用）：手表、首饰、五金件、消费电子外壳仿金金色硬质薄膜，耐磨不易褪色，耐腐蚀优于氮化钛 TiN。
2. 刀具模具硬质涂层：切削刀具、成型模具、精密零部件耐磨保护膜，提升硬度、降低摩擦，延长使用寿命。
3. 半导体微电子：铜互连扩散阻挡层、MIM 薄膜电容电极、MEMS 器件导电层，阻挡金属互扩散，热稳定性优良。
4. 光学镀膜：高折射率光学薄膜，用于红外元件、滤光片、反射膜。
5. 医疗器件：手术器械、植入件耐磨生物相容保护层。
6. 新能源与显示：光伏、平板显示器件导电保护层。

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