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钼钛合金靶材(MoTi)

钼钛合金靶材(MoTi)
  • 钼钛合金靶材(MoTi)
钼钛合金靶材(MoTi)基本信息
分子式MoTi
纯度99.95%
CAS号
摩尔质量
密度≥5.5 g/cm³
熔点
沸点
溶解性(水)

钼钛合金靶材(MoTi)产品概况

      合金靶材(MoTi,钼含量1%-30at%)是以高纯钛、钼为原料,通过真空熔炼与热等静压工艺制备的致密金属靶材,纯度≥99.95%,密度≥5.5 g/cm³。其兼具钛的轻量化、生物相容性及钼的高强度、耐腐蚀特性,可调控相组成(α/β相)与晶粒尺寸,适配磁控溅射、电弧离子镀等工艺,用于沉积耐蚀涂层、高温防护膜及医疗植入体表面功能层。产品具备低氧含量(<500 ppm)、高膜层结合力及优异导电性,支持成分梯度设计、异形尺寸定制(直径≤500mm),广泛应用于航空航天、海洋工程、生物医疗及半导体封装领域,满足严苛工况下的性能需求。

钼钛合金靶材(MoTi)产品应用

广泛应用于航空航天、海洋工程、生物医疗及半导体封装领域,满足严苛工况下的性能需求。
‌1.半导体与显示技术‌
作为TFT-LCD铜导电膜的底层/覆盖层阻挡材料,抑制铜扩散并提升导电膜稳定性,适配5nm以下先进制程芯片需求。
在3D NAND存储芯片中,钼钛合金薄膜的热膨胀系数与硅基板匹配,使128层堆叠结构的良品率提升至92%以上。
‌2.功能薄膜制备‌
用于磁控溅射工艺沉积耐腐蚀涂层(如海洋工程设备)、高温防护膜(航空航天热端部件)及生物医疗植入体表面功能层。
‌3.新能源与电子器件‌
作为电极材料应用于太阳能电池,通过低电阻率薄膜提升光电转换效率(部分案例达23%)

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