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钛铝钒锆靶材（Ti-Al-V-Zr）

钛铝钒锆靶材（Ti-Al-V-Zr）
  • 钛铝钒锆靶材（Ti-Al-V-Zr）
钛铝钒锆靶材（Ti-Al-V-Zr）基本信息
分子式TiAlVZr
纯度99.9%
CAS号无独立 CAS 号
摩尔质量无固定摩尔质量
密度4.2~4.7 g/cm³
熔点无单一熔点
沸点无固定沸点
溶解性（水）不溶于水；常温耐稀酸；可被氢氟酸、浓热盐酸、王水腐蚀；浓强碱缓慢腐蚀

钛铝钒锆靶材（Ti-Al-V-Zr）产品概况

钛铝钒锆 TiAlVZr 靶材为磁控溅射 PVD 金属合金靶，制备工艺可采用真空熔炼或粉末冶金热压 / 热等静压，可加工圆靶、方靶，可绑定铜背板。 金属导电，支持 DC 直流溅射，也可 RF 射频溅射；TiAlVZr 薄膜兼具高硬度、耐高温抗氧化、耐腐蚀特性，铝元素提升抗氧化能力，钒、锆细化晶粒、提升热稳定性与膜层韧性；靶材需真空 / 惰性气氛溅射，高温易氧化生成氧化物。

区分：Ti-6Al-4V（TiAlV）是经典钛合金；TiAlVZr 增加 Zr 元素，进一步提升高温稳定性、抗蠕变与耐蚀性能。


钛铝钒锆靶材（Ti-Al-V-Zr）产品应用

薄膜应用：
1. 刀具、模具硬质防护涂层（核心）：溅射制备 TiAlVZrN 氮化物硬质涂层，用于切削刀具、冲压模具，耐高温、耐磨、抗高温氧化。
2. 航空航天特种薄膜：航空构件表面耐高温防护涂层，抗高温氧化、耐腐蚀。
3. 医疗器械薄膜：生物相容防护涂层，医用器件表面改性。
4. MEMS 器件：耐高温金属电极、粘附层、结构薄膜。
5. 装饰镀膜：耐磨彩色装饰涂层。
6. 科研实验：磁控溅射、PLD，高熵合金薄膜、多组分金属薄膜机理研究。

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