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石墨(碳)靶材C

石墨(碳)靶材C
  • 石墨(碳)靶材C
石墨(碳)靶材C基本信息
分子式C
纯度99.99%
CAS号7440-44-0
摩尔质量12.011
密度2.267 g·cm−3
熔点3500 ℃
沸点4827 ℃
溶解性(水)常压下无熔融,3652℃升华

石墨(碳)靶材C产品概况

石墨靶为黑色固体,六方层状晶体结构,等静压成型 + 高温石墨化提纯 + 精密机加工制成;可绑定铜背靶适配磁控溅射。 高导电、高导热、耐高温、自润滑、化学稳定性优异;常用于制备碳薄膜、DLC 类金刚石薄膜

石墨(碳)靶材C产品应用

薄膜应用:
1. DLC 类金刚石耐磨涂层(最大应用):切削刀具、模具、轴承、汽车零部件,高硬度、低摩擦、耐磨防腐保护膜。
2. 半导体微电子:铜互连扩散阻挡层、MEMS 器件、碳基掩膜层、传感器电极、先进封装 RDL 重布线层。
3. 新能源:燃料电池金属双极板耐腐蚀导电涂层、锂电池电极表面改性、光伏电池导电层。
4. 光学镀膜:光学元件红外吸收膜、黑色遮光膜、镜头耐磨保护涂层。
5. 装饰镀膜:消费电子外观黑色硬质膜层。
6. 科研:碳基薄膜、二维碳材料、碳纳米相关基础实验。

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