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铌靶材(Nb)

铌靶材(Nb)
  • 铌靶材(Nb)
铌靶材(Nb)基本信息
分子式Nb
纯度99.9%,99.99%
CAS号7440‑03‑1
摩尔质量92.91 g/mol
密度8.57 g/cm³
熔点2468 ℃
沸点4744 ℃
溶解性(水)不溶于水;常温下耐稀酸、耐碱;可溶于氢氟酸、硝酸‑氢氟酸混合酸;高温下可被强碱腐蚀

铌靶材(Nb)产品概况

铌靶材是以金属铌为原料,通过真空电子束熔炼或粉末冶金工艺制成的高纯溅射靶材。 可加工成圆形、矩形平面靶、旋转管状靶材。铌属于难熔金属,硬度适中,导热导电性能良好,化学抗腐蚀性能优异。靶材关键指标为纯度、致密度、晶粒大小与取向,直接影响溅射速率、薄膜均匀性。

铌靶材(Nb)产品应用

薄膜应用:
1.半导体微电子作为阻挡层、粘附层薄膜,用于芯片、分立器件,阻挡铜扩散,提升金属层与基底结合力。
2.表面防护涂层制备耐腐蚀、耐高温金属铌薄膜,用于化工器件、特种零部件防护镀层。
3.超导领域制备铌基超导薄膜,用于超导谐振腔、超导器件。
4.光学与显示行业金属铌薄膜,用于部分遮光层、电极、装饰镀膜。
5.新能源光伏器件、电池元器件导电 / 功能薄膜。

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