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科泰新材料可提供“元索周期表”近乎全元素(除放射性元素外)的任意组合材料定制,
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靶材清单

发布时间:2008-07-01      文章分类:材料清单      浏览量:1439      文章来源:本站

磁控溅射靶材

科泰拥有四合一生产线,拥有熔炼靶材和粉末冶金靶材两条大生产线。熔炼靶材生产线我们有电弧熔炼炉,中频熔炼炉(5kg、15kg、30kg、50kg),真空悬浮熔炼炉(1kg、3kg、5kg、15kg),同时有锻床,轧机等热加工设备设备。 粉末冶金靶材生产线我们有真空热压炉(1-18寸各种模具),冷等静压成形设备,真空烧结设备,非真空烧结设备,气氛烧结设备。科泰检测设备完备,能够确保靶材品质稳定、优异。多年生产经验的工程技术人员、高端的生产实验设备,科泰会根据靶材材料性能选择合适的生产工艺,为客户提供优质的磁控溅射靶材。


01
金属/单质靶材

脆性元素:硼B、铋Bi、铬Cr、铼Re、钌Ru、锑Sb、硒Se、碲Te、

金属元素:铝Al、镉Cd、铜Cu、铁Fe、铪Hf、铟In、镁Mg、铅Pb、锡Sn、钒V、锌Zn 

稀土元素:  镧La、铈Ce、镨P、钕Nd、钐Sm、钆Gd、铽Tb、镝Dy、钬Ho、铒Er、铥Tm、镱Yb、镥Lu、钇Y、钪Sc

02
稀土合金靶材

铝钪AlSc、铈钆CeGd、铈镁CeMg、铈钐CeSm、镝钴DyCo、镝铁DyFe、钆铜GdCu、钆铁GdFe、钬铜HoCu、镧铝LaAl、镧镍LaNi、铝钕AlNd、钕铁NdFe、钕铁硼NdFeB、镍镁铈NiMgCe、镍镁铁铈NiMgFeCe、铽镝铁TbDyFe、铽铁TbFe、钇铝YAl、钇铜YCu、钇铁YFe、钇镁YMg、钇镍YNi、钇锆ZrY 

03
其它合金靶材

钛合金类:  钛铝Ti-Al、钛铬Ti-Cr、钛镍Ti-Ni 

镍合金类镍铝Ni-Al、镍铬Ni-Cr、镍铬硅Ni-Cr-Si、镍铁Ni-Fe;镍铌钛Ni-Nb-Ti、镍钛Ni-Ti、镍钒Ni-V

铝合金类:铝银Al-Ag、铝铜Al-Cu、铝钕Al-Nd、铝硅Al-Si、碲化铝硅铜Al-Si-Cu

铜合金类:  铜钴Cu-Co、铜钆Cu-Gd、铜铟Cu-In、铜镍Cu-Ni、铜锆Cu-Zr

锆合金类:  锆铝Zr-Al、锆铁Zr-Fe、锆铌Zr-Nb、锆镍Zr-Ni、锆钛Zr-Ti、锆钇Zr-Y 

04
氧化物靶材

氧化铝Al2O3氧化铋Bi2O3氧化镉CdO氧化铬Cr2O3氧化铜CuO三氧化二铁Fe2O3四氧化三铁Fe3O4氧化镓Ga2O3二氧化锗GeO2氧化铪HfO2氧化铟In2O3氧化锂Li2O氧化镁MgO二氧化锰MnO2四氧化三锰Mn3O4、碲化氧化钼MoO3氧化铌Nb2O5;碲化NbOx氧化镍NiO氧化铅PbO氧化锑Sb2O3一氧化硅SiO二氧化硅SiO2二氧化锡SnO2一氧化锡SnO氧化钽Ta2O5、碲化Ta2Ox二氧化钛TiO2TiOx一氧化钛TiO氧化锆ZrO2氧化钒V2O5氧化钨WO3氧化锌ZnO氧化锆ZrO2

稀土氧化物:氧化镧La2O3氧化铈CeO2氧化镨Pr6O11氧化钕Nd2O3氧化钐Sm2O3氧化钆Gd2O3氧化铽Tb4O11氧化镝Dy2O3氧化钬Ho2O3氧化铒Er2O3氧化铥Tm2O3氧化镱Yb2O3氧化镥Lu2O3氧化钇Y2O3氧化钪Sc2O3

05
氮化物靶材

氮化铝AlN氮化铝钪AlScN, AlxSc(1-x)N氮化钪ScN 碲化氮化钆GdN、氮化硼BN氮化铬CrN氮化铪HfN氮化铌NbN氮化硅Si3N4氮化钽TaN氮碳化钛TiCN氮化钛TiN氮化钒VN氮化锆ZrN氮化铝钛AlTiN

06
碳化物靶材

碳化铝Al4C3、碳化硼B4C、碳化铬Cr3C2、碳化铪HfC、碳化镧LaC2、碳化钼Mo2C、碳化铌NbC、碳化镍Ni3C;碳化硅SiC、碳化钽TaC、碳化钛TiC、碳化钒VC、碳化钨WC、碳化锆ZrC 

07
氟化物靶材

氟化钡BaF2氟化钙CaF2氟化锂LiF氟化镁MgF2氟化钠NaF

稀土氟化物:氟化镧LaF3氟化铈CeF3氟化钐SmF3氟化钆GdF3氟化铽TbF3氟化镝DyF3氟化钬HoF3氟化铒ErF3氟化镱YbF3氟化钇YF3氟化钪ScF3

08
硅化物靶材

二硅化钴CoSi2、二硅化铬CrSi2、二硅化铪HfSi2、二硅化钼MoSi2、二硅化铌NbSi2、二硅化镍NiSi2、二硅化钽TaSi2、二硅化钛TiSi2、二硅化钒VSi2、二硅化钨WSi2、二硅化锆ZrSi2

09
硼化物靶材

硼化铝AlB;硼化钴CoB、二硼化铬CrB2、硼化铁FeB、二硼化铪HfB2、六硼化镧LaB6、硼化钼Mo2B、硼化铌NbB2、二硼化钽TaB2、二硼化钛TiB2、二硼化钒VB2、二硼化钨WB2、二硼化锆ZrB2

10
硫化物靶材

硫化银Ag2S、硫化砷As2S3、硫化铋Bi2S3、硫化镉CdS、硫化钴锡CoSnS、硫化铬Cr2S3、硫化铜铝CuAlS2、硫化铜镓CuGaS2、硫化铜铟镓CuInGaS、铜铟镓硒硫CuInGaSeS、硫化铜铟CuInS2、硫化铜CuS、硫化亚铜Cu2S、硫化铜锡CuSnS、硫化铜锑CuSbS、硫化铜锑锌CuSbZnS、硫化铜锌锡CuZnSnS、硫化铁FeS2、硫化镓GaS、三硫化二镓Ga2S3、硫化锗GeS、二硫化锗GeS2、三硫化二铟In2S3、二硫化钼MoS2、硫化铌NbS、硫化镍NiS2;硫化铅PbS、硫化锑Sb2S3、硫化锑硒SbSeS、硫化锡SnS、SnS2、硫化钛TiS2、硫化钽TaS2、硫化钨WS2、硫化锌镉ZnCdS、 

11
硒化物靶材

三硒化二砷As2Se3、  硒碲化砷AsSeTe、 硒化铋Bi2Se3、 硒碲化铋BiSeTe、 硒化镉CdSe、 硒碲化镉CdTeSe、 硒化铜镓CuGaSe2、 硒化铜CuSe、 二硒化铜CuSe2、  铜铟镓硒CuIn0.7Ga0.3Se2、  硒化铜铟CuInSe2、 硒化铜锌锡CuZnSnSe、 硒化铒Er2Se3、 硒化铁FeSe、 硒砷化镓GaAsSe、 三硒化二镓Ga2Se3、 硒化钽镓GaTa4Se8、 一 硒化锗GeSe、 二硒化锗GeSe2、 三硒化二锗Ge2Se3、 锗砷硒碲GeAsSeTe、 锗碲硒GeTeSe、 锗砷硒GeAsSe、 一硒化铟InSe、 三硒化二铟In2Se3、 二硒化钼MoSe2、 二硒化铌NbSe2、 硒化铅PbSe、 三硒化二锑Sb2Se3、 二硒化钽TaSe2、 二硒化钨WSe2、 硒化锌ZnSe、

12 碲化物靶材

碲化铝Al2Te3、碲化银Ag2Te、银铟锑碲AgInSbTe、碲化砷As2Te3、砷硒碲AsSeTe、碲化铋Bi2Te3、铋锑碲BiSbTe、铋硒碲BiSeTe、碲化镉CdTe、镉锌碲CdZnTe、碲化铜CuTe、碲化亚铜Cu2Te、碲化镓GaTe、三碲化二镓Ga2Te3、碲化锗GeTe、锗砷硒碲GeAsSeTe、锗铜碲GeCuTe、锗碲Ge2Sb2Te5、碲化铟In2Te3、铟锑碲InSbTe、碲化镁MgTe、碲化钼MoTe、MoTe2、碲化钠Na2Te;碲化铌NbTe2、碲化铅PbTe、碲化锑Sb2Te3、碲化钐SmTe、碲化锡SnTe、碲化钪Sc2Te3、ScTe;钪锑碲ScSbTe、碲化钽TaTe2、碲化钛TiTe2、钛锑碲TiSbTe、碲化铥TmTe、碲化钨WTe、WTe2、碲化镱YbTe、碲化锌ZnTe

13
砷化物靶材

砷化铬Cr2As砷化锡SnAs砷化镉Cd3As2砷化钴CoAs2砷化铁FeAs砷化镓GaAs砷化铟InAs砷化锗GeAs

14
锑化物靶材

锑化铝AlSb锑化铋Bi2Sb3锑化镉Cd3Sb2CdSb锑化铈CeSb锑化钴CoSb3锑化铁FeSb锑化锗GeSb锑化锰MnSb锑化钕NdSb锑化镓GaSb锑化铟InSbIn2Sb3锑化铅PbSb、锑化锡SnSb锑化锌ZnSb 

15
磷化物靶材

磷化铝AlP、磷化硼BP、磷化铜CuP、磷化镓GaP、磷化锗GeP、磷化铟InP、磷化钼MoP、磷化铌NbP、磷化NiP、磷化硅SiP、磷化钽TaP、磷化钨WP 

16
其它化合物靶材

AgInS2、AgInTe2、BixSb1-xTe、CdInTe4、CuZnSnS、CIGS(CuInxGa1-xSe2)、CIGSS(CuInxGa1-x(Se.S)2)、CuInSe2、GaxAl1-xAs、GeSeAs(Si,Te)、GeSbTe、PbxSn1-As、ZnIn2Te4、ZnxCd1-xTe 

17
其它混合物靶材

ATO、AZO、GZO、IGZO、ITO、IZO、YSZ、PZT、 PbZrO3、SrZrO3、LaAl2O3、LaNbO3、LiNbO3、LSMO、CrSiO; ZrO2+SiO2、Al2O3+ZrO2、Al2O3+MgO、CaF2+CeF3、CuO+In2O3、Ta2O5+TiO2、Ta2O5+ZrO2、 TiO2+Nb2O5 、TiO2+ZrO2、YAG、YBaCuO、 YGdCuBaO、BaTiO3、CaTiO3、FeTiO3、LaTiO3、Li2TiO3、SrTiO3、PbTiO3、 Li3PO4、Ca10(PO4)6(OH)2、LiCoPO4、LiCuPO4、LiFePO4、LiMnPO4、LiTi2(PO4)3


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